InverterPuzzle

CMOSプロセスで設計したインバータ（NOTゲート）のレイアウトと3次元構造を模したアクリルパズルの加工データです。

コンタクト・Viaを黒アクリルで加工すると、横からみたときに縦方向の接続がわかりやすいです。（特に拡散とゲートが同じCnt穴でもエッチングが止まるところ＝Cntが埋まるところが違うのが見どころ）

※Boothで販売中です

組み立て方

以下のレイヤと色の対応をみながら、インバターのレイアウトをつくります。

• 薄ピンク: Psub
• 薄緑: Nwell
• ピンク: P+
• 緑: N+
• 透明: 酸化膜
• 赤: PolySi
• 水色: Metal1
• 黒: CNT（コンタクトホール）

各層は、こちらの写真のようになります。途中の赤線のところに、ゲート酸化膜の薄膜（トレーシングペーパー等）がはさまります。また一番上層には1mm透明カバーが載ります。これらを重ね、四隅をねじで固定します。

作り方

用意するもの

• 3mmアクリル板（透明）
• 3mmアクリル板（黒）
• 薄い透明シート（OHPシート、トレーシングペーパー等）
• M3x30ねじ＋ナット(4組）

作り方

• 3mmアクリル板を、inv_cut.pdf（一番下の横長長方形以外は透明板。右下の5mm角正方形部品は黒色板）でレーザーカッター等でカットします。（5mm角の正方形の部品（コンタクトホール）がなくなりやすいので注意）
• 薄い透明シートを、inv_cut.pdfの一番下の横長長方形の形状にカット（ゲート酸化膜）
• UVプリンタで、inv_UV_print.pdfのデータを、カットした部品を並べて印刷。このときinv_UV_base.pdfをアクリル板等でカットしておくと位置合わせがやりやすい。

Author

Junichi Akita (akita@ifdl.jp / @akita11)